海目星:中红外飞秒激光技术可激发极紫外光 但光刻机技术难度较高

海目星:中红外飞秒激光技术可激发极紫外光 但光刻机技术难度较高
2024年07月10日 17:05 问董秘

投资者提问:

您好,董秘,请问下成果中第7条产生极紫外辐射,是否可用于生产极紫外线光刻机

董秘回答(海目星SH688559):

您好。中红外飞秒激光技术为平台型技术,理论上可以激发极紫外光,但光刻机的极紫外光源的技术难度相对较高,目前我们的激光技术距离专业光源尚有差距。感谢关注。

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