投资者提问:
您好,董秘,请问下成果中第7条产生极紫外辐射,是否可用于生产极紫外线光刻机
董秘回答(海目星SH688559):
您好。中红外飞秒激光技术为平台型技术,理论上可以激发极紫外光,但光刻机的极紫外光源的技术难度相对较高,目前我们的激光技术距离专业光源尚有差距。感谢关注。
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