投资者提问:你好,请问公司ArF光刻胶产品是干法还是湿法?能适用的集成电路...

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2024年03月22日 15:46 问董秘

投资者提问:

你好,请问公司ArF光刻胶产品是干法还是湿法?能适用的集成电路制程范围是多少?是否符合研发预期?谢谢!

董秘回答(南大光电SZ300346):

感谢您的关注!目前公司ArF光刻 胶已在下游客户存储芯片50nm和逻辑芯片55nm技术节点的产品上通过认证,同时多款产品正在下游客户进行认证,具体请关注相关信息披露。

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