投资者提问：
请问一下，国产光刻机的精度是否由公司生产的光栅尺或超精尺的精度确定？贵司的产品目前支持28nm的制程吗？贵司作为中科院的一员，为国产光刻机做了哪些贡献？
董秘回答(奥普光电SZ002338)：
光栅尺是半导体设备的部件之一，一般来说部件的精度取决于整机的技术需求。感谢关注。
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