投资者提问：北京烁科中科信电子装备有限公司牵头联合中国科学院上海微系统与信...|北京_新浪财经

投资者提问：

北京烁科中科信电子装备有限公司牵头联合中国科学院上海微系统与信息技术研究所、上海凯世通半导体股份有限公司、中国科学院微电子所、清华大学、北京大学等单位研发的“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目荣获北京市科学技术进步一等奖。.请问我们离子机和和中科电的离子机是怎么样的关系？是合作吗？还是各自独立研发，具体有什么不同，希望能得到解答？

董秘回答(万业企业SH600641)：

尊敬的投资者您好，凯世通公司与北京烁科中科信电子装备有限公司（原名为“北京中科信电子装备有限公司”）合作申报了“十二五”02重大专项“45-22nm低能大束流离子注入机研发与产业化”项目课题，凯世通公司承担了 “离子源研发及低能减速机构的设计”子课题。2019年，北京烁科中科信电子装备有限公司牵头联合中国科学院上海微系统与信息技术研究所、上海凯世通半导体股份有限公司、中国科学院微电子所、清华大学、北京大学等单位联合以“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目申报了北京市科学技术进步一等奖。凯世通公司从2016年开始在政府专项“10nm及以下三维器件结构FinFET集成电路离子注入机研发与产业化”资助下独立研发低能大束流离子注入机整机。感谢您对万业企业的关注。

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