芯源微(688037.SH)公告,公司拟于2024年3月19日在公司上海临港厂区竣工仪式现场发布前道单片式化学清洗机新品KS-CM300,于3月20日至22日SEMICON China 2024上海国际半导体展会期间发布全自动SiC划片裂片一体机新品KS-S200-2S1B。
关于前道单片式化学清洗机,该款机台由公司上海临港子公司自主研发,具有高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能、高智能化等多重优势,适用于薄膜前后的清洗、干法蚀刻后清洗、离子注入灰化后清洗、CMP后清洗等多种清洗工艺,能够满足客户对于UPTime、刻蚀一致性等稳定性指标的严苛要求。同时,机台还充分借鉴了公司在前道Track及Scrubber等领域的成熟技术,通过不断优化内部单元及整机设计,可有效确保机台内部微环境均匀稳定,并最大程度压缩chamber空间,推出的高产能架构能够助力客户实现清洗效率的显著提升。此外,机台还将配备多项智能化功能,实现AI赋能。
关于全自动SiC划片裂片一体机,该款机台由公司日本子公司与合作伙伴联合研发,主要适用于6/8寸SiC晶圆的切割及裂片工艺,同时应用范围可拓展至其他三五族化合物、陶瓷、蓝宝石等特种材料。该机台具有整机设计紧凑、配置灵活、高产能、干法切割、断面平整、无切口损失等特点,致力于为下游客户提供更加经济高效的特种材料切割方案。
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股市直播
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冯矿伟今天 06:18:33
今天基本过不了趋势了,任务交给下周一 -
东方红陈晨今天 06:18:05
恒生指数大涨都反包了。昨天下跌拖累了A股,但是a股没有涨回去。 -
东方红陈晨今天 06:15:27
指数也不动了,资金不断的进入机器人(sz300024)和信创两个板块,其他板块没啥资金进入保持平衡了,总体是个普涨行情,有重点,有数量,有大盘配合,还行的,下周一继续保持这个状态,就行了,好好过个年 -
徐小明今天 06:15:19
【盘中直播】我们其实很渺小,,所以只能契合,,无法主导行情。 -
趋势领涨今天 06:11:48
日本央行如预期加息25个基点,将目标利率从0.25%上调至0.50%,加息幅度为2007年以来最大,利率升至2008年10月以来新高。自去年3月份重启加息后,日本央行在不到12个月的时间里进行了三次加息。今天日经指数还是上涨的,确实很强,港股今天也是大涨超过2%,A走势相对较弱,主要是大家都准备过年了! -
冯矿伟今天 06:10:27
数据还是欠佳 -
冯矿伟今天 06:10:12
【更多独家重磅股市观点请点击】 -
徐小明今天 06:08:38
【盘中直播】行情的转折点,并不以人的意志为转移 -
趋势领涨今天 06:03:53
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宋谈股经今天 06:01:19
14点整点回顾:市场午后高位震荡,指数涨幅有所回落,豆包概念股拉升,中科创达(sz300496)涨超15%,存储芯片板块反弹,德明利(sz001309)触及涨停,个股涨多跌少,沪深京三市超3200股飘红,成交达9631亿,较昨日此时缩量超1700亿。