格隆汇7月22日丨有投资者于投资者互动平台向晶瑞电材(300655.SZ)提问,“ARF光刻胶现在进展到底怎么样?测试ARF光刻胶的光刻机调试完成了吗?能正常使用吗?”,公司回复称,公司共有5台光刻机,分别用于紫外宽谱、g线、i线、KrF和ArF产品的研发以及量产,ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中,部分样品已开展客户送样验证工作。
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