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金融界2024年6月21日消息,天眼查知识产权信息显示,绍兴中芯集成电路制造股份有限公司取得一项名为“一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备”的专利,授权公告号CN221201089U,申请日期为2023年9月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备,该雾化装置包括:第一接口,用于通入携带有液态除水介质的常温气体;第二接口,用于通入高温气体;雾化腔室,分别连接所述第一接口与所述第二接口,用于混合所述高温气体和所述液态除水介质,以将所述液态除水介质蒸发为气态除水介质;第三接口,与所述雾化腔室连接,用于释放所述气态除水介质。本实用新型的用于晶圆干燥的雾化装置,能够在雾化腔室内将高温气体与液态除水介质进行混合,以将液态除水介质蒸发为气态除水介质,进而改善除水介质的雾化效果。
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