上海新阳取得聚酰亚胺清洗液专利，清洗能力强、腐蚀速率低_新浪财经

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金融界2024年6月21日消息，天眼查知识产权信息显示，上海新阳半导体材料股份有限公司取得一项名为“一种聚酰亚胺清洗液“，授权公告号CN116218611B，申请日期为2021年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种聚酰亚胺清洗液。本发明的清洗液的原料包括下列质量分数的组分：30％‑80％有机溶剂、0.001％‑0.01％还原型谷胱甘肽、0.001％‑0.25％半胱氨酸、1％‑5％醇胺、1％‑5％有机碱、0.01％‑2％螯合剂、0.01％‑2％缓蚀剂、0.5％‑3％羧酸铵、0.01‑1％表面活性剂、0.01％‑2％流平剂和水，水补足余量；各组分质量分数之和为100％。本发明的清洗液的清洗能力强、腐蚀速率低和避免了等离子刻蚀及灰化等繁琐工艺。