菲沃泰申请制备涂层的方法、涂层、以及器件专利,简单、可控、易导入工业化使用的工艺制备涂层

菲沃泰申请制备涂层的方法、涂层、以及器件专利,简单、可控、易导入工业化使用的工艺制备涂层
2024年06月21日 08:05 金融界网站

转自:金融界

本文源自:金融界

金融界2024年6月21日消息,天眼查知识产权信息显示,江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司申请一项名为“制备涂层的方法、涂层、以及器件“,公开号CN202211641733.4,申请日期为2022年12月。

专利摘要显示,本发明实施例涉及一种制备涂层的方法、涂层、以及器件。所述方法包括以下步骤:将基材放置于等离子体反应腔室内;以及向所述等离子体反应腔室通入硅氧烷材料,施加偏压电源,等离子体放电,以在所述基材的表面沉积涂层。本发明实施例可以有助于以操作过程较为简单、过程可控性较强、较易导入工业化使用的工艺制备涂层等。

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