菲沃泰申请制备涂层的方法、涂层、以及器件专利，简单、可控、易导入工业化使用的工艺制备涂层_新浪财经

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金融界2024年6月21日消息，天眼查知识产权信息显示，江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司申请一项名为“制备涂层的方法、涂层、以及器件“，公开号CN202211641733.4，申请日期为2022年12月。

专利摘要显示，本发明实施例涉及一种制备涂层的方法、涂层、以及器件。所述方法包括以下步骤：将基材放置于等离子体反应腔室内；以及向所述等离子体反应腔室通入硅氧烷材料，施加偏压电源，等离子体放电，以在所述基材的表面沉积涂层。本发明实施例可以有助于以操作过程较为简单、过程可控性较强、较易导入工业化使用的工艺制备涂层等。