中科飞测-U申请自动聚焦方法及系统、设备和存储介质专利，该专利技术能够提高自动聚焦设备的测量精度|专利_新浪财经

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金融界2024年6月21日消息，天眼查知识产权信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“自动聚焦方法及系统、设备和存储介质“，公开号CN202211594274.9，申请日期为2022年12月。

专利摘要显示，该专利提供一种自动聚焦方法及系统、设备和存储介质，方法包括如下步骤：获取待测量区域；调节所述待测量区域的预设测量光斑，形成实际测量光斑，所述实际测量光斑的形状和/或尺寸与待测量区域匹配；基于所述实际测量光斑测量所述待测量区域，获得待测对象的检测信息。该专利实施例提供的自动聚焦方法能够提高自动聚焦设备的测量精度，相应的，能够修复半导体晶圆检测设备由于形貌严重变化（例如晶圆边缘、特殊水平阵列等）引起的误检，提高灵敏度、缺陷捕获率。