芯源微取得过滤装置专利，能提高过滤效率同时降低设备停机维护频次和过滤系统使用成本|过滤_新浪财经

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金融界2024年6月18日消息，天眼查知识产权信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司取得一项名为“一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置”，授权公告号CN221155634U，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本实用新型属于半导体晶圆湿法工艺设备领域，具体地说是一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，包括外筒体、精滤滤网安装骨架、粗滤滤网安装骨架、精滤滤网及粗滤滤网，精滤滤网安装骨架设置于外筒体内侧，精滤滤网安装骨架上安装有精滤滤网，粗滤滤网安装骨架设置于精滤滤网安装骨架内侧，粗滤滤网安装骨架上安装有粗滤滤网。本实用新型通过设置粗滤滤网与精滤滤网两层组合的过滤方式，分层拦截而避免所需拦截的金属膜或光阻膜全部堆积在同一个滤网上，既可防止大片金属膜或光阻膜在短时间内堵住滤网，也防止了较多细小金属膜屑和光阻穿过滤网给后端过滤原件造成压力；在提高过滤效率的同时，可降低设备停机维护的频次，降低过滤系统的使用成本。