晶合集成取得石英腔体安装治具专利,能有效防止石英腔体与光刻胶去除设备的腔体的内壁发生碰撞

晶合集成取得石英腔体安装治具专利,能有效防止石英腔体与光刻胶去除设备的腔体的内壁发生碰撞
2024年06月18日 13:55 金融界网站

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金融界2024年6月18日消息,天眼查知识产权信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司取得一项名为“一种石英腔体的安装治具“,授权公告号CN221160197U,申请日期为2023年11月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种石英腔体的安装治具,治具将待安装的石英腔体安装在光刻胶去除设备的腔体中;治具包括下盖、连接机构、上盖和握把;下盖和连接机构的一端可拆卸式连接;上盖和连接机构的另一端可拆卸式连接;握把设置在上盖远离连接机构的一侧;石英腔体固定在下盖和上盖之间,石英腔体的下端和下盖相配合,石英腔体的上端和上盖相配合,连接机构位于石英腔体的内部;石英腔体沿其自身轴向方向的投影均在上盖上。由于下盖对石英腔体的下端起到防护作用,上盖对石英腔体的上端起到防护作用,这样可以防止石英腔体与光刻胶去除设备的腔体的内壁发生碰撞,避免石英腔体破损。

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