中科飞测-U申请翘曲校正方法、工件校正装置及工件校正系统专利，提升待测工件的表面平面度，进而提高待测工件的精度_新浪财经

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金融界2024年6月18日消息，天眼查知识产权信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“翘曲校正方法、工件校正装置及工件校正系统“，公开号CN202211621624.6，申请日期为2022年12月。

专利摘要显示，此项发明实施例公开了一种翘曲校正方法、一种工件校正装置和一种工件校正系统。翘曲校正方法例如包括：获取所述待测工件的平面度数据；根据平面度阈值和所述平面度数据确定翘曲信息；根据所述翘曲信息生成翘曲矫正指令；以及根据所述翘曲矫正指令对所述待测工件进行翘曲矫正。此项发明实施例实现了在气浮承载待测工件时对待测工件进行翘曲矫正，提升了待测工件的表面平面度，进而提高待测工件的精度。

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