中科飞测-U申请专利，提升膜层厚度检测的精准度|反射镜_新浪财经

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金融界2024年6月4日消息，天眼查知识产权信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“晶圆膜层厚度检测光束校准方法、装置及系统“，公开号CN202211544591.X，申请日期为2022年12月。

专利摘要显示，本发明实施例公开了一种晶圆膜层厚度检测光束校准方法、装置及系统。晶圆膜层厚度检测光束校准方法包括：获取第一晶圆图像和第二晶圆图像，其中，第一晶圆图像包含经过偏摆台上的反射镜反射的泵浦光束照射在待测晶圆上的待测平面上形成的泵浦光斑区域，第二晶圆图像包含探测光束照射在待测晶圆上的待测平面上形成的泵浦光斑区域；对第一晶圆图像进行图像识别处理，得到泵浦光斑区域在待测平面上的泵浦光斑位置；对第二晶圆图像进行图像识别处理，得到探测光斑区域在待测平面上的探测光斑位置；以及根据泵浦光斑位置和探测光斑位置控制偏摆台上的反射镜偏摆以校准泵浦光斑和探测光斑在待测平面上的位置。本发明实施例可提升膜层厚度检测的精准度。

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