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金融界2024年6月4日消息,天眼查知识产权信息显示,深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种检测方法、检测系统、终端设备及存储介质“,公开号CN202211540795.6,申请日期为2022年12月。
专利摘要显示,一种检测方法、检测系统、终端设备及存储介质,检测方法包括:控制第一检测光束对待测面进行扫描,获取待测面的第一预设缺陷对应的第一散射信号,依据第一散射信号确定第一预设缺陷在待测面的第一分布信息;当第一检测光束扫描至第一预设节点时,控制第二检测光束对待测面进行扫描,获取待测面的第二预设缺陷对应的第二散射信号,依据第二散射信号确定第二预设缺陷在待测面的第二分布信息;第一检测光束的波长大于第二检测光束的波长。本申请可以提高表面缺陷检测的精度以及检测效率。
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