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金融界2024年6月4日消息,天眼查知识产权信息显示,武汉帝尔激光科技股份有限公司申请一项名为“一种金刚石N型激光掺杂方法及装置“,公开号CN202410214249.6,申请日期为2024年2月。
专利摘要显示,本发明提供一种金刚石N型激光掺杂方法及装置,将金刚石衬底置于一定低氧浓度的环境中,采用第一激光对所述金刚石衬底的表面进行微改质处理;将微改质处理后的金刚石衬底置于含有一定掺杂元素浓度的掺杂溶液中;采用第二激光一定次数扫描作用进行N型激光掺杂。本发明先激光微改质,然后直接将金刚石处于掺杂溶液浸没环境中激光掺杂,能够提升掺杂载流子浓度,进而形成有效N型掺杂。
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