龙腾光电取得曝光系统及曝光机专利，提高产品线宽的均一性，提高产品良率|龙腾光电_新浪财经

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金融界2024年6月4日消息，天眼查知识产权信息显示，昆山龙腾光电股份有限公司取得一项名为“曝光系统及曝光机“，授权公告号CN221079182U，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种曝光系统及曝光机。曝光系统包括：光源组件、弧形镜组、掩膜版、透镜组和补偿镜组；光源组件的出射光依次经过弧形镜组、掩膜版及透镜组后对第一基板进行曝光；掩膜版能够沿第一方向或第一方向的反方向移动；补偿镜组设置于透镜组的出射光路上；补偿镜组设有至少一个在第一方向上位置可变的补偿区域，每个补偿区域包括沿第一方向排列的第一透光区和与第二透光区；第一透光区和第二透光区的透光率不同；且第一透光区的宽度与第一基板对应的光阻膜厚异常区的宽度相等，第二透光区的宽度大于或等于透镜组出射光的宽度的二倍。本实用新型能够提高产品线宽的均一性，提高产品良率。

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