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金融界2024年6月4日消息,天眼查知识产权信息显示,佛山市国星光电股份有限公司申请一项名为“一种集成式芯片的封装方法和封装结构“,公开号CN202410344036.5,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本发明公开了一种集成式芯片的封装方法和封装结构,涉及封装技术领域,包括以下步骤:器件晶圆的正面形成介质层,器件晶圆中成型有第一芯片,第一芯片设有第一焊盘,介质层露出第一焊盘;在第一芯片表面的介质层上形成粘合层;在粘合层中形成开口;在第一焊盘上形成导电凸块;第二芯片设有第二焊盘,第二焊盘和导电凸块连接,第二芯片和粘合层粘接,第二芯片封闭开口形成空腔;在器件晶圆的正面形成封装层,覆盖第二芯片;在器件晶圆中形成导通结构,一端和第一芯片连接,另一端成型有第三焊盘,第三焊盘位于器件晶圆的背面。本发明直接在器件晶圆上完成芯片的集成封装制程,能有效降低封装成本,提高封装密度、封装质量和封装效率。
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