江苏省委书记信长星赴先导集成电路产业园江苏微导纳米科技股份有限公司调研_新浪财经

7月10日，省委书记信长星到先导集成电路产业园-江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”）调研，先导集团董事长、微导纳米实控人王燕清，微导纳米总经理周仁，CTO黎微明博士陪同。

王燕清介绍了先导集成电路产业园的现状及规划，目前产业园已经孵化了5家半导体装备公司，包括了国内领先的半导体集成电路薄膜工艺装备企业微导纳米（股票代码：688147.SH）、国内领先的先进制程核心前道外延及刻蚀装备企业天芯微、国内领先的化合物外延设备制造企业先为科技、国内领先的减薄抛光和激光设备企业元夫半导体，以及集成电路高纯电子化学品容器装备公司容导科技。

王燕清介绍了微导纳米在发展过程中取得的突出成果：微导纳米2018年启动半导体产品探索和研发，2020年成功推出半导体集成电路前道High-k工艺专用原子层沉积（ALD）设备并于次年完成量产验证，是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备公司。微导纳米多年深耕半导体集成电路及泛半导体薄膜沉积高端工艺，2023年成功推出高温无定形碳工艺专用PECVD设备并取得重复订单，满足客户在多个技术节点和工艺环节对薄膜沉积设备的需求，填补了国内半导体集成电路关键技术空白。

周仁介绍了微导纳米近年来业绩持续高速增长的情况，是国内半导体公司少见的发展速度。截至2024年第一季度，公司在手订单81.91亿元，其中半导体在手订单11.15亿元，3年多的时间迅速突破销售10亿大关，体现了市场及客户的高度认可。

信长星详细了解发展历程、技术创新、市场销售以及产业链协作等情况，对企业积极构建功能完备的研发平台、梯次推进的产品体系表示赞许。他指出，专精特新企业、“小巨人”企业是培育新质生产力的重要力量，只要技术领先、产品过硬，一定会蓬勃发展、成长壮大。希望大家坚定信心、鼓足干劲，瞄准国际先进水平，聚焦主业精耕细作，加快技术迭代和产品升级，在开拓创新中增创发展新优势。