中证智能财讯 拓荆科技（688072）5月9日晚间公告，公司全资子公司上海岩泉科技有限公司拟以1500万元认购沈阳新松半导体设备有限公司新增注册资本300万元，获得本次增资后新松半导体1.0714%的股权。
据公告，新松半导体的核心产品主要为真空机械手及集束型设备，包括大气机械手、EFEM、真空机械手及真空传输平台等系列产品，主要应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节及领域，广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链。
公告表示，本次岩泉科技与关联方中微半导体（上海）有限公司共同向新松半导体增资，有助于公司促进产业协同发展，增强上游供应链的稳定性，助力公司战略规划的实施。
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