转自:证券时报·e公司
e公司讯,近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)的电容耦合等离子体(CCP)刻蚀设备第3000台反应腔顺利付运国内一家先进的半导体芯片制造商。
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