英杰电气1月11日在互动平台表示,射频电源订单前几个月已经开始放量,向重点客户批量供货,目前公司已经具备了半导体设备(刻蚀机、PECVD等)部分机台射频电源的国产化替代以及量产的能力,其余机台的射频电源研发也正在有序推进,目前推进进度良好。
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