据国外媒体报道称，ASML已经确认，即将出货最新款的EUV光刻机EXE:5200，相比上代来说，表现更加强悍，当然不会卖给中国厂商。
按照官方的说法，EXE:5200是现有初代High NA EUV光刻机EXE:5000的改进款，其将拥有更高的晶圆吞吐量（EXE:5000为每小时185片以上），可以更好的为2nm工艺量产做支撑。
在这之前，ASML宣布英特尔订购了业界首个TWINSCAN EXE:5200光刻机（一种具有高数值孔径和每小时 200 多片晶圆的极紫外 (EUV) 大批量生产系统），这标志着他们在引入0.55 NA EUV的道路上又迈出了一步。
TWINSCAN EXE:5000和EXE:5200均提供了0.55数值孔径，比前代EUV光刻机0.33数值孔径透镜的精度提高了，可以为更小的晶体管功能提供更高分辨率的模式。
EUV 0.55 NA 的设计旨在从2025年开始实现多个未来节点，这是业内首次部署，随后将采用类似密度的内存技术。
新浪科技公众号
“掌”握科技鲜闻 （微信搜索techsina或扫描左侧二维码关注）
9条评论|11人参与网友评论
表情
登录|注册
|退出
分享到微博
发布最热评论
没节操的桔子北京
让他在那晃悠表演，我们就不搭理，不值得理会
2月2日01:25举报赞1回复
Stardust旋律辽宁大连
他出第几代机型对我们来说根本不重要
2月2日01:24举报赞1回复
电竞女团swag安徽
又不卖给我国，发给咱们干啥，跟咱没关系
2月2日02:27举报赞回复
最新评论
电竞女团swag安徽
又不卖给我国，发给咱们干啥，跟咱没关系
2月2日02:27举报赞回复
Chi原味辛酱河北石家庄
很期待它的实际表现
2月2日01:26举报赞回复
MemoriesOnTheWind北京
这进步真的挺大的
2月2日01:25举报赞回复
查看全部9条评论 >
--------
官方微博
公众号
新浪科技
新浪科技为你带来最新鲜的科技资讯
苹果汇
苹果汇为你带来最新鲜的苹果产品新闻
新浪众测
新酷产品第一时间免费试玩
新浪探索
提供最新的科学家新闻，精彩的震撼图片
