颠覆性突破!ASML发布超级EUV光刻机:可量产0.2nm工艺

颠覆性突破!ASML发布超级EUV光刻机:可量产0.2nm工艺
2024年06月19日 05:14 中关村在线

近日,荷兰光刻机巨头ASML公司(ASML)宣布,其最新研发的超级EUV(极紫外线)光刻机已具备量产0.2nm工艺的能力,这一里程碑式的进展无疑将再次引领半导体产业迈入新的高度。

随着制程工艺的不断缩小,半导体制造技术的难度也在不断增加。目前,能够量产的最先进制程工艺来自台积电的3nm技术。然而,ASML正在研发的Hyper NA EUV光刻机,将有望将制程工艺推进到0.2nm。这一技术突破意味着,在不久的将来,我们将能够生产出集成度更高、性能更强大的芯片。

光刻机ASML
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