投资者提问:
你好,请问目前公司CMP装备可支持的制程工艺水平是多少?公司在此制程水平上的装备与行业同类型装备相比,竞争优势体现在哪些方面?谢谢!
董秘回答(华海清科SH688120):
尊敬的投资者您好!公司高度重视CMP产品的技术和性能升级,已推出了满足更多材质工艺和更先进制程要求的新产品,公司的CMP装备现已处于国内领先水平,未来还将继续加大研发投入,持续推进面向更高性能、更先进节点的CMP装备开发及工艺突破。感谢您对公司的关注!
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