投资者提问:
董秘您好,可以介绍一下公司对于六氟丁二烯,扩产计划和实施进度嘛?对于光刻气是否有投入研发计划
董秘回答(南大光电SZ300346):
感谢您的关注!公司“六氟丁二烯产业化项目”拟建设100吨/年六氟丁二烯生产装置,投产后产品主要应用于高端存储芯片制造的蚀刻环节,总建设周期约40个月。目前项目正在推进中。
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