南大光电:六氟丁二烯扩产计划及光刻气研发进展

南大光电:六氟丁二烯扩产计划及光刻气研发进展
2024年09月18日 15:51 问董秘

投资者提问:

董秘您好,可以介绍一下公司对于六氟丁二烯,扩产计划和实施进度嘛?对于光刻气是否有投入研发计划

董秘回答(南大光电SZ300346):

感谢您的关注!公司“六氟丁二烯产业化项目”拟建设100吨/年六氟丁二烯生产装置,投产后产品主要应用于高端存储芯片制造的蚀刻环节,总建设周期约40个月。目前项目正在推进中。

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