投资者提问：
请问子公司有多少台光刻机？谢谢！
董秘回答(民德电子SZ300656)：
您好，感谢您的提问！晶圆代工厂广芯微电子产线中包括光刻设备，一期规划产能为6英寸高端特色硅基晶圆10万片/月。感谢您的关注！
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