投资者提问:
光刻机由三大核心系统,数万个零件组成,是产业链各环节顶尖公司通力合作的成果。 1)光源方面,DUV采用准分子激光器,技术掌握在Cymer和Gigaphoton手中,国内科益虹源打破垄断;EUV光源是通过高功率CO2激光器轰击Sn滴而来,高功率激光器为核心组件。
董秘回答(维宏股份SZ300508):
您好。光刻领域属于超精密加工领域。我们激光目前还主要是大幅面的宏加工。我认为,只从商业角度看,光刻机的控制系统,很难由独立的第三方控制系统提供产品。单套控制系统产品价格肯定会更高,但是光刻机的出货量太小了,而且摩尔定律可知,它的升级迭代速度又很高。所以,对于第三方独立控制系统公司而言,投入产出比会很低,收益率不划算。更可能的情况是,光刻机整机厂商自研。
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