投资者提问:
贵公司的微功率激光器技术,实际应用于半导体后序制程中的哪个工艺?谢谢!
董秘回答(英诺激光SZ301021):
尊敬的投资者,您好!公司在半导体领域提供的主要产品为碳化硅退火制程的激光器,亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的紫外和深紫外等激光器,应用于前道制程。感谢您的关注!
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