投资者提问:
您好,网上看到公布的招标数据,至微半导体中标清洗设备2台,刻蚀设备1台,是否属实?公司有做刻蚀设备了?
董秘回答(至纯科技SH603690):
您好,公司没有做刻蚀设备,公司湿法设备已覆盖28NM全工艺段,可用于包括但不限于扩散、光刻、刻蚀、沉积等工艺前后的清洗,并正向更先进制程发展。
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