至纯科技获得实用新型专利授权:“一种取放机构、晶圆传送装置以及清洗设备”

至纯科技获得实用新型专利授权:“一种取放机构、晶圆传送装置以及清洗设备”
2024年06月22日 02:14 证券之星

证券之星消息,根据企查查数据显示至纯科技(603690)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种取放机构、晶圆传送装置以及清洗设备”,专利申请号为CN202322185801.7,授权日为2024年6月7日。

专利摘要:本实用新型公开了一种取放机构、晶圆传送装置以及清洗设备,取放机构包括用于盛放晶圆的取放手指,所述取放手指包括用于盛放晶圆的取放手指,所述取放手指包括第一安装板和手指,其中,所述第一安装板与所述手指连接;所述手指具有目标区域,和围绕所述目标区域设置的挡块,所述挡块用于将所述晶圆导向至所述目标区域内。本实用新型的取放机构包括手指,手指上设置的挡块可将晶圆导向至手指的目标区域,从而可精密限定晶圆位置,提高传送稳定性。

今年以来至纯科技新获得专利授权16个,较去年同期减少了20%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了2.24亿元,同比增16.35%。

数据来源:企查查

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