05月07日，光刻机概念盘中拉升，截至09点36分，光刻机概念整体指数上涨0.68%，报1461.880点。
从个股上来看，该概念的成分股中，蓝英装备涨1.89%，炬光科技、惠伦晶体、波长光电涨幅居前。
从资金上来看，截止发稿，光刻机概念主力净流入为-1400.41万，其中炬光科技受到资金热捧，主力净流入274.08万；拉长时间线来看，该板块近20日主力资金净流入-13.23亿。
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