来源：格隆汇
格隆汇10月11日丨至纯科技(603690.SH)投资者关系活动记录表显示，公司湿法清洗设备可覆盖28纳米全工艺工序段并有重复订单，在更先进的28纳米以下制程有数台订单交付客户。公司所服务的客户主要为国内逻辑领域头部客户。
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