华工科技:高端晶圆激光切割智能装备已完成产品开发并实现交付

华工科技:高端晶圆激光切割智能装备已完成产品开发并实现交付
2024年06月25日 16:50 金融界网站

转自:金融界

本文源自:金融界AI电报

金融界6月25日消息,有投资者在互动平台向华工科技提问:请问华工的晶园切割机已开始量产了吗?

公司回答表示:公司在半导体应用领域开发了高端晶圆激光切割智能装备,装备实现6-8英寸晶圆全片、残片的自动对焦、自动定位和自动加工,搭载高精密运动平台和高稳定性激光器及光路系统,能实现激光无损切割工艺,无表面损伤、无颗粒物和粉尘、无热影响,装备通过SEMI半导体行业认证,进入主流半导体封测厂,目前该设备已完成产品开发,光波导玻璃晶圆激光加工智能产线已实现交付。

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