龙腾光电取得一种光罩检查机构及光罩清洁设备专利，降低了对光罩的检测难度，提高了对光罩的检查效率_新浪财经

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金融界2024年6月21日消息，天眼查知识产权信息显示，昆山龙腾光电股份有限公司取得一项名为“一种光罩检查机构及光罩清洁设备“，授权公告号CN221200225U，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种光罩检查机构及光罩清洁设备。光罩检查机构包括风机组件、制冷风道和制热风道，制冷风道和制热风道均与风机组件相连通，风机组件用于向制冷风道和制热风道内吹入空气，制冷风道被配置为对吹入的空气降温，制热风道被配置为对吹入的空气加热，并且制冷风道和制热风道用于同时向光罩的表面吹气，以使光罩的表面产生雾气，从而检查光罩的表面是否存在印记，降低了对光罩的检测难度，提高了对光罩的检查效率，也保证了产品的良率。此外，通过冷热空气相遇产生雾气，避免了光罩的表面残留水渍，保证了光罩的正常使用。光罩清洁设备通过应用上述光罩检查机构，提高了工作效率，也保证了产品的良率。