南玻A申请绿色多晶电池片制备方法专利,使用等离子体增强化学气相沉积方法进行制备

南玻A申请绿色多晶电池片制备方法专利,使用等离子体增强化学气相沉积方法进行制备
2024年06月11日 10:05 金融界网站

转自:金融界

本文源自:金融界

金融界2024年6月11日消息,天眼查知识产权信息显示,中国南玻集团股份有限公司申请一项名为“一种绿色多晶电池片的制备方法“,公开号CN202410201955.7,申请日期为2024年2月。

专利摘要显示,本发明公开了一种绿色多晶电池片的制备方法,包括以下步骤:对多晶硅片依次进行表面制绒、扩散制备PN结、酸刻蚀去除磷硅玻璃层和通过臭氧形成二氧化硅薄膜;采用等离子体增强化学气相沉积方法二氧化硅薄膜的表面依次沉积第一氮化硅薄膜、第二氮化硅薄膜和第三氮化硅薄膜,经丝网印刷烧结电注入,得所述绿色多晶电池片。

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