旭光电子：氮化铝粉体年化产能达240吨，氮化铝基板年化产能达300万片|金融界_新浪财经

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金融界10月17日消息，旭光电子在互动平台表示，公司已顺利完成了自主设计、国产首台套连续式氮化炉设备的装配与工艺调试等工作，成功实现高品质氮化铝粉体的连续化生产，氮化铝粉体年化产能已达240吨；氮化铝基板已实现年化产能300万片，目前已在下游应用端的二十余家企业进行了验证及实现供货，已成为国内氮化铝基板主要供应商；氮化铝结构件一期项目设计产能已达产，产品已通过了国内部分客户认证，大尺寸结构件已广泛应用于半导体产业的光刻工艺、刻蚀工艺、薄膜工艺、离子注入等工艺中，产品已经进入半导体设备的核心产业链。