收购芯嵛半导体82%股权,华海清科(688120.SH)深入布局离子注入设备领域

收购芯嵛半导体82%股权,华海清科(688120.SH)深入布局离子注入设备领域
2024年12月25日 09:29 界面新闻

12月24日,华海清科(158.400, -1.40, -0.88%)(688120.SH)发布公告,公司拟使用自有资金不超过10.045亿元收购参股子公司芯嵛公司剩余82%的股权,本次交易完成后,芯嵛公司将成为公司全资子公司。

华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体装备供应商,主要从事半导体专用装备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品包括CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、晶圆再生、关键耗材与维保服务等,初步实现了“装备+服务”的平台化战略布局。通过本次收购,华海清科可以较快实现对离子注入核心技术的吸收和转化,跨越式地完成产品和业务板块布局,是其积极落实“装备+服务”的平台化发展战略的又一重要突破,将进一步提升核心竞争力。

据了解,离子注入设备是集成电路制造前道工序中的关键设备之一,销售额占半导体工艺设备整体销售规模的比重约为3-5%,但其涉及高压电子、机械、电气、计算机控制、等离子体物理等基础科学,理论门槛高,系统集成难度大。根据SEMI数据,在全球及国内市场中,超过九成的设备仍由美国应用材料公司、美国亚舍立公司供应,中国大陆集成电路制造企业的离子注入设备仍然主要依赖进口,进口替代需求空间巨大,市场前景亦十分广阔。

作为国产离子注入设备研发和生产企业,芯嵛公司是国内少数能实现大束流离子注入设备生产的供应商,其核心技术团队专注于离子注入行业30多年,具有丰富的离子注入行业经验,在长期研发过程中不断积累了产品设计及工艺性能的核心参数,较同类竞品的晶圆颗粒污染控制效果、晶圆的装载效率更优,且设备零部件的国产化率更高。目前,芯嵛公司实现商业化的主要产品为低能大束流离子注入设备,相关产品已发往客户端验证,已有部分机台实现验收。

华海清科表示,本次收购完成后,将加大此类业务的研发投入,以实现离子注入设备的持续迭代升级和新产品开发,进一步加快落实公司“装备+服务”的平台化发展战略,丰富公司产品品类,带来新的业务增长点。

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