临床测试！这颗重庆“芯”帮你探查病灶！|芯片_新浪财经

激光束打在小米粒大小的振镜上

而这些镜片又搭载在指甲盖大小的芯片上

芯片控制振镜以极快的速度

调整激光反射角度扫描前方

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由北京理工大学与重庆西永微电子产业园共建的北京理工大学重庆微电子研究院（以下简称北理微电院）近日发布消息，由该研究院承担的CiMEMS微纳制造工艺线在西部（重庆）科学城西永微电子产业园顺利通线，项目一期投资近1.5亿元。其中，运用这种纳米尺度的“微观世界”的医疗探测仪，已在医院进入临床测试。

北理微电院。西永微电子产业园供图

纳米尺度的“微观世界”

MEMS芯片技术是指在纳米尺度的“微观世界”，将芯片、微纳制造与微机械系统融合的前沿技术。基于光刻、刻蚀等传统半导体技术，融入超精密机械加工，并结合力学、化学、光学等学科知识和技术基础，使得一个毫米或微米尺度上的芯片结构具备精确而完整的机械、化学、光学等特性。

北理工重研院科研人员把这些芯片搭载，如同相控阵阵列一般，即可实现对前方物体接近光速的超高速扫描。这就是将集成微纳系统（MEMS）芯片技术，运用于激光雷达、生物探测、精准定位等领域的神奇“微操方法”。

北理微电院实验室。西永微电子产业园供图

北理工重研院封测实验室内，科研人员展示了一个探头如竹签大小的医疗探测仪，体积只有传统仪器三分之一，同样基于MEMS技术，今年下半年，北理工重研院将向市场推广，第一步便是在生物光子诊疗方面。

“研究院基于前沿的生物光子诊疗技术，结合研究院超小型MEMS芯片，可以通过比内窥镜还小的探头深入人体，对病灶做出类似于CT但范围极小的扫描，对狭窄腔内局部的细胞微环境进行高分辨率、三维可视化成像。”北理微电院院长谢会开介绍，相比传统的内窥镜检查，可以对更深层次组织进行更细微的检查，有利于体内微小病灶的早期诊断。目前，已进入重庆主要的三甲医院进入临床测试。

广泛应用在智能制造

自动驾驶、人工智能等多领域

随着国内智能网联汽车、智能终端、可穿戴设备与消费电子的高速发展，以集成微纳系统（MEMS）为代表的主要应用于激光雷达、环境感知与智能传感器的芯片，迎来发展机遇期。

CiMEMS微纳制造工艺线超净区。西永微电子产业园供图

“在集成电路行业不断发展的背景下，传统的集成电路无法持续地满足终端领域日益变化的需求，基于MEMS芯片技术的集成电路具有更强的性能，低功耗、速度快、可靠性高等优点，可以广泛应用在智能制造、自动驾驶、人工智能等多个领域。”谢会开说，随着万物互联与人工智能的兴起，MEMS产品种类增加、市场规模扩大。北理工重研院将立足本校学科优势，致力于建设中国西部MEMS研发+产业应用的创新策源地。

促进电子信息和新能源汽车

两大万亿级产业深度融合

西永微电子产业园相关负责人表示，集成电路是世界科技竞争的制高点。西永微电园正大力发展以集成电路为核心的高端智能产业，下苦功夫落实产业基础再造，建设功率半导体、模拟和数模混合先进特色工艺、硅基光电子、碳基集成电路、SIC等三代半导体和未来集成电路先进产业集群，从“芯”出发，促进电子信息和新能源汽车两大万亿级产业深度融合。

微纳制造工艺线通线。西永微电子产业园供图

今年8月、9月，西永微电园电子信息产业连续两个月实现逆势正增长，8月规上工业产值同比增长9.52%，9月同比增长1.8%，并创单月历史新高。近日，西永微电园围绕“芯融合共未来”主题，携手长安、庆铃、赛力斯、鑫源汽车成功举办四场汽车电子对接会，为两大万亿级产业链上下游企业进行供需精准匹配，一方面不断夯实万亿级新智能汽车增长根基，另一方面又助力园区电子信息制造业转型升级。