中国拿到论文也造不出EUV?日本光刻胶巨头被批“傲慢”

中国拿到论文也造不出EUV?日本光刻胶巨头被批“傲慢”
2022年05月23日 15:21 观察者网

  文 / 吕栋

  “我认为中国也非常想发展自己的EUV(极紫外光刻)能力,以及适配这一领域的生态系统。但很坦率地说,我认为他们要做到这一点非常困难。”5月23日,英国《金融时报》援引日本光刻胶巨头JSR首席执行官埃里克•约翰逊(Eric Johnson)的话报道称。

  在半导体制造领域,EUV光刻机和材料的研发难度的确很高。但约翰逊在美国总统拜登访日之际做出如此评论,被这篇报道下方的国外网民批评“过于傲慢”。网民评论直言,“如果认为中国在先进芯片领域需要数十年才能赶上,那就太低估中国的创造力了”、“他们会成功的,这只是时间问题”。

  实际上,荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)CEO温彼得也在今年1月表达过和约翰逊类似的观点,认为“中国不太可能复制出顶尖的EUV光刻机”。但他当时补充称,永远别那么绝对,中国的物理定律和全世界是一样的,“他们肯定会尝试”。

英国《金融时报》报道截图英国《金融时报》报道截图

  JSR公司成立于1957年,中文名为日本合成橡胶,是全球主要的光刻胶供应商之一。在应用方面,光刻胶是半导体、液晶面板(LCD)、印刷电路板(PCB) 等产业的重要原材料。在半导体领域,光刻胶分辨率决定器件的尺寸。按曝光波长分类,光刻胶可以分为g线、i线、KrF、ArF和最先进的EUV(极紫外)光刻胶等。

  第三方数据显示,截至2021年,JSR是全球仅有的四家EUV光刻胶供应商之一,这种光刻胶应用于EUV光刻环节,是制造最先进芯片必不可少的材料。另外,JSR在ArF光刻胶领域以24%的市场份额位居全球第一;在整个光刻胶领域,JSR以13%的市场份额位居世界第三,日本东京应化和美国陶氏化学分列第一和第二。

图源:华经情报网图源:华经情报网

  埃里克•约翰逊目前担任JSR的CEO,也是日本公司中为数不多的美国高层。他在接受《金融时报》采访时称,中国很难掌握基于极紫外光刻或者被称为EUV光刻(Extreme Ultra-violet)的复杂芯片制造技术。

  约翰逊做出这一表态之际,正值拜登开展亚洲之行。5月20日,拜登和美国商务部长雷蒙多等人抵达韩国后,直接前往三星最先进的3纳米工厂参观,EUV光刻机是实现这种工艺必不可少的设备,拜登在现场强调“要保证半导体供应链稳定”。

拜登参观三星电子的3纳米工厂拜登参观三星电子的3纳米工厂

  作为半导体制造最重要的环节之一,EUV光刻机可以在硅片上刻出需要的微小电路。

  CINNO Research半导体事业部总经理Elvis Hsu在接受观察者网采访时表示,光刻机是半导体制造设备价格占比最高的部分,约25-30%。其研发难点在于曝光光源、对准系统和透光镜头等技术的整合,以及庞大的资金投入。目前,国内技术领先的光刻机研制厂家可以稳定生产90/65nm制造工艺的光刻机。

  “即使中国拿到一份关于化学成分细节的论文……,要在纯度、精度和大规模量产方面实现成功也是非常困难的。事情没有那么简单,他们也没有供应链来支持这一点。”约翰逊在接受前述采访时称,开发尖端技术需要数十年时间和大量资金……行业确实需要像iPhone这样的产品去承担研发成本。

  毫无疑问,约翰逊是半导体行业具有话语权的人士,但他的观点似乎并没有得到全部网友的认同。

  观察者网注意到,在这篇报道下方为数不多的评论中,一位国外网友写道:

国外网友评论截图国外网友评论截图

  另一位网友写道:

国外网友评论截图国外网友评论截图

  还有一位网友评论道:

国外网友评论截图国外网友评论截图

  在做出前述表态的同时,约翰逊还提到,中国企业正在积极投资不是那么先进的芯片制造技术,这些技术同样很重要,“中国有多少不依赖于前沿技术的机会,人们没有充分认识到这一点。”

  财报显示,在截至2021年3月31日的财年中,JSR在中国市场实现营收6.62亿美元(约合人民币44.08亿元),占总营收的比重为16.41%,中国是该公司第二大市场。

JSR财报截图JSR财报截图

  约翰逊指出,中国是JSR增长战略的重要组成部分。但他同时提到,希望能够在“尊重”和“负责任地”为中国客户提供服务的同时,兼顾“对美国政府的关切以及对保护日本利益的关切”。

  针对约翰逊提到的EUV技术,阿斯麦CEO温彼得曾在今年1月初表示,“因为阿斯麦依赖于不懈的创新,以及整合只有从非中国供应商处才能获得的零部件,中国不太可能独立复制出顶尖的光刻技术。但我的意思并不是绝对不可能,因为中国的物理定律和我们这里是一样的。永远别那么绝对,他们肯定会尝试的。”

阿斯麦NXE3400型EUV光刻机 图片来源:阿斯麦官网阿斯麦NXE3400型EUV光刻机 图片来源:阿斯麦官网

  从2018年开始,阿斯麦就试图向中国大陆销售EUV光刻机,希望进一步进入中国大陆市场,但荷兰政府一直未批准其出口许可申请。在美国的持续施压之下,这一请求已被荷兰官员搁置。

  “出口管制将加快中国自主研发,15年时间里他们将做出所有的东西”、“中国完全自主掌控供应链之后,欧洲供应商将彻底失去市场”,其实温彼得去年4月就已经公开表达过焦虑,但美国一直选择视而不见。

  至于持续两年的全球缺芯问题,约翰逊在前述采访中指出,削弱全球经济的芯片供应瓶颈问题,要到明年才能解决。他认为,半导体行业在满足汽车芯片需求方面尤其存在“问题”,因为这些领域使用的芯片不是那么先进,利润较低,吸引的投资也较少。

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