本文来自方正证券(7.780, -0.15, -1.89%)研究所于2024年1月12日发布的报告《光刻机专题(一):工业明珠,自主高地》,欲了解具体内容,请阅读报告原文。
李鲁靖 S1220523090002
王昊哲 S1220524120003
徐 凡 (联系人)
核心观点
光刻机本身是一项极其复杂的系统工程,包含了光源、照明系统、投影物镜系统、工件台系统、系统测量与校正分系统、浸没系统(浸没式光刻机中)等多个子系统,每个子系统承担不同的功能,构成同样十分复杂:
1)光源系统:演进路线为i-line(365nm)-> KrF(248nm)-> ArF(193nm)-> EUV(13.5nm),光源系统系核心模块,波长决定了工艺能力,除了波长之外,发光强度(亮度)、频率带宽、相干性等参数也是选择光源的时候必须考虑的参数;
2)照明系统:复杂的非成像系统,主要功能是为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场;主要包括光束处理、光瞳整形、能量探测、光场匀化、可变狭缝、中继成像和偏振照明等单元。
3)投影物镜系统:把从照明系统出射并经过掩模版的光收进物镜系统并在晶圆上成像。当前主流的物镜系统包含20-30个镜片,光路设计、元器件的制造和系统的装配都是极其复杂的环节,和光刻机的数值孔径参数密切相关。不同于i-line和DUV光刻机,EUV光刻机的物镜系统为全反射系统。
4)浸没系统:浸没式光刻机在投影物镜系统和晶圆之间加入了浸没系统使得数值孔径进一步提升。
5)工件台系统:包括掩模台和硅片台,在扫描曝光过程中,掩模台与硅片台在扫描方向上作精确地同步运动。双工件台结构中,当一个微动台在进行曝光工作的同时,另外一个微动台可以同时进行曝光之前的预对准工作,可以大大提升工作效率。
关于光刻机的市场规模和格局:
1)全球光刻机市场空间:2021-2023年全球光刻机市场规模约为145/164/244亿欧元。
2)全球光刻机市场格局:光刻机作为最尖端半导体设备品类,竞争格局呈现极高的集中度,且越高端的机型市场集中度越高。EUV光刻机市场由ASML垄断,ASML在浸没式光刻机市场的市占率在90%以上。在分辨率较为成熟的KrF和i-line领域,日本的两家公司的Canon和Nikony同样占据一席之地。
3)国内光刻机市场:光刻机整机市场大,国产化率极低,美方联合荷兰对我国半导体产业进行制裁,从整机到零部件供应链,光刻机的全产业链国产化是自主可控的必然结果。
4)国产光刻机产业链:国内真正对光刻机的攻关始于02专项,根据公开信息,上海微电子负责整机的设计和组装,光源、照明及曝光系统、工件台和浸没系统等由各个高校和科研院所牵头研发,在产业化的进程中孵化出了一批公司,如国科精密(投影物镜)、镭望光学(照明系统)、科益虹源(光源)、华卓精科(工件台)、启尔机电(浸没系统)等。
相关标的:茂莱光学(235.980, -24.44, -9.38%)、福光股份(37.220, -1.56, -4.02%)。
风险提示:产业化进展不及预期风险、人才流失风险、地缘政治风险等。
正文如下
以上为报告部分内容,完整报告请查看光刻机专题(一):工业明珠,自主高地》。
方正机械团队
李鲁靖
方正证券研究所
副所长,机械军工首席
李鲁靖:哈尔滨工业大学电子工程本科、美国东北NEU计算机硕士毕业,七年制造业研究经验,历任天风证券(4.090, -0.18, -4.22%)研究所所长助理/高端制造总监/新能源与先进制造组副组长/机械军工首席分析师、安信证券研究员。
2022年获新财富国防军工第三名、上证报机械军工双第二名、水晶球军工第二名/机械公募第二名、金牛奖等:2019-2021年均率队上榜新财富最佳分析师等奖项。
赵 璐:毕业于大连理工大学、南洋理工大学3年机械、钢铁、煤炭行业研究经验,曾就职于财通证券(7.620, -0.15, -1.93%)、民生证券。
乐智华:上海财经大学数学与应用数学本科,复旦大学金融硕士,曾就职于东北证券(7.640, -0.12, -1.55%)。覆盖机器人(18.160, -1.47, -7.49%)及新能源设备等领域。
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四、黄金创历史新高 英伟达大跌美联储一月份已经暂停加息,再加上外围环境不确定性,2024年黄金价格大涨27.39%,2025年继续上涨7.21%,黄金价格再次创出历史新高。如果从2015年底开始计算,到了今年年末,将会是本轮黄金牛市运行周期的第10年。按照过去两轮黄金牛市的运行规律,黄金牛市周期一般在10年左右。2025年至2026年,或形成黄金的阶段性高位。所以,黄金虽然今年还有高点,但追涨需谨慎,今年被套可能要等10年!英伟达等相关算力、半导体板块节日期间继续大跌,A股上周二开始休市,英伟达周一晚间大跌近17%,随后几天一直在低位徘徊,也就是说A股算力等科技股节后还有压力。总的来说,节日期间到目前,情况不乐观,现在还没有看见有利于节后A股上涨的利好消息,观察随后两天的消息面吧,我们的文章会继续跟进解读。 -
趋势领涨今天 09:40:40
二、DeepSeek 继续火爆DeepSeek节前发酵以后,节日期间继续火爆,包括华为,英伟达等都已经接入了DeepSeek ,另外,其它各国对DeepSeek 也进行了开放,对DeepSeek相关概念股当然是利好。我们要说的是DeepSeek确实很牛,但如果能够放开股市一条生路,不要在股市上收割韭菜,我相信全体股民都会支持!三、春节档总票房已破71亿元今年春节档有《射雕英雄传:侠之大者》《哪吒之魔童闹海》《唐探1900》《封神第二部:战火西岐》《蛟龙行动》等多部电影上映,随着假期的流逝,相关票房也不断刷新。截至2月2日18时31分,2025春节档总票房(含预售)已破71亿元,《哪吒之魔童闹海》《唐探1900》《封神第二部:战火西岐》分列春节档票房榜前三位。有数据说哪吒2票房能上67亿,很可能刷新中国新纪录。哪吒2涉及主要上市公司是光线传媒(sz300251),受此影响光线传媒(sz300251)节后会有影响,但其它影视传媒可能就没有机会了,因为春节6部电影,只有哪吒2独领风骚! -
趋势领涨今天 09:40:30
春节四大消息 节后能否开门红还有两天A股就要开市了,在此之前,外围股市整体走势比较平稳,中概股涨跌基本持平,但随着开市的临近,外围走势和消息面正在影响A股开盘,历史数据统计,每年春节后A股开门红的概率超过75%,但重点是A股不按套路出牌,大家都想到的事情,A股的走势都是相反的,所以,随后两天消息面和外围股市的走势,才是A股最终走势的决定因素。一、老特挥舞关水大棒节日期间老特继续挥舞关水大棒,加拿大、墨西哥各加水25%,我们再加10%。其实这些消息都是在市场预期之内,但现在公布对市场还是出现了一定的影响,受此影响,上周五富时A50尾盘出现跳水,下跌超过1%;今天开盘大跌超过3%;中概股上周五大跌超过3.5%,美股尾盘同样出现跳水下跌,今天韩国指数和日经指数开盘都是大跌超过2%,港股目前大跌近2%。因为道理很简单,加拿大和墨西哥是米国的亲儿子,对亲儿子都动手了,其他就不用说了,所以,日经指数和韩国股市直接跪了!不过,老美对自己人都动手了,对我们来说不一定是坏事,所以,观察随后两天中概股和港股的走势,如果随后中概股和港股能够收回跌幅,A股开盘开门红的概率还是很大的。 -
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一觉醒来,中国资产大涨,这是什么情况,是真的要东升西落了吗? deepseek的爆火,提振了外资对我们的信心。不管怎么样,节后大A开盘营造了极为有利的氛围。年前红包没拿到,希望年后给股民补回来吧。祝大家新春快乐! -
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不过,英伟达一天下跌就定义科技股的行情就此结束,这也有点太武断了,美股最大的优点就是流动性强,每次大跌以后,最终都会创出新高,所有,科技股的行情随后几天还需要继续观察,如果A股在开市以前不能收回跌幅,科技股节后还有承压。今天已经开启了放假模式,本来不想写文章的,主要是看见昨天市场杀的有些蹊跷,收盘以后通过数据分析,大盘是不应该杀跌的,节日期间只要不出现意外的利空,只要外围股市不再大跌,A股节后是有望阳包阴的,所以,建议大家安心过春节!最后祝大家新的一年似灵蛇蜕皮,褪去旧疾,迎来股市长红,全家幸福安康!