本文来自方正证券(7.780, -0.15, -1.89%)研究所于2024年1月12日发布的报告《光刻机专题(一):工业明珠,自主高地》,欲了解具体内容,请阅读报告原文。
李鲁靖 S1220523090002
王昊哲 S1220524120003
徐 凡 (联系人)
核心观点
光刻机本身是一项极其复杂的系统工程,包含了光源、照明系统、投影物镜系统、工件台系统、系统测量与校正分系统、浸没系统(浸没式光刻机中)等多个子系统,每个子系统承担不同的功能,构成同样十分复杂:
1)光源系统:演进路线为i-line(365nm)-> KrF(248nm)-> ArF(193nm)-> EUV(13.5nm),光源系统系核心模块,波长决定了工艺能力,除了波长之外,发光强度(亮度)、频率带宽、相干性等参数也是选择光源的时候必须考虑的参数;
2)照明系统:复杂的非成像系统,主要功能是为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场;主要包括光束处理、光瞳整形、能量探测、光场匀化、可变狭缝、中继成像和偏振照明等单元。
3)投影物镜系统:把从照明系统出射并经过掩模版的光收进物镜系统并在晶圆上成像。当前主流的物镜系统包含20-30个镜片,光路设计、元器件的制造和系统的装配都是极其复杂的环节,和光刻机的数值孔径参数密切相关。不同于i-line和DUV光刻机,EUV光刻机的物镜系统为全反射系统。
4)浸没系统:浸没式光刻机在投影物镜系统和晶圆之间加入了浸没系统使得数值孔径进一步提升。
5)工件台系统:包括掩模台和硅片台,在扫描曝光过程中,掩模台与硅片台在扫描方向上作精确地同步运动。双工件台结构中,当一个微动台在进行曝光工作的同时,另外一个微动台可以同时进行曝光之前的预对准工作,可以大大提升工作效率。
关于光刻机的市场规模和格局:
1)全球光刻机市场空间:2021-2023年全球光刻机市场规模约为145/164/244亿欧元。
2)全球光刻机市场格局:光刻机作为最尖端半导体设备品类,竞争格局呈现极高的集中度,且越高端的机型市场集中度越高。EUV光刻机市场由ASML垄断,ASML在浸没式光刻机市场的市占率在90%以上。在分辨率较为成熟的KrF和i-line领域,日本的两家公司的Canon和Nikony同样占据一席之地。
3)国内光刻机市场:光刻机整机市场大,国产化率极低,美方联合荷兰对我国半导体产业进行制裁,从整机到零部件供应链,光刻机的全产业链国产化是自主可控的必然结果。
4)国产光刻机产业链:国内真正对光刻机的攻关始于02专项,根据公开信息,上海微电子负责整机的设计和组装,光源、照明及曝光系统、工件台和浸没系统等由各个高校和科研院所牵头研发,在产业化的进程中孵化出了一批公司,如国科精密(投影物镜)、镭望光学(照明系统)、科益虹源(光源)、华卓精科(工件台)、启尔机电(浸没系统)等。
相关标的:茂莱光学(235.980, -24.44, -9.38%)、福光股份(37.220, -1.56, -4.02%)。
风险提示:产业化进展不及预期风险、人才流失风险、地缘政治风险等。
正文如下
以上为报告部分内容,完整报告请查看光刻机专题(一):工业明珠,自主高地》。
方正机械团队
李鲁靖
方正证券研究所
副所长,机械军工首席
李鲁靖:哈尔滨工业大学电子工程本科、美国东北NEU计算机硕士毕业,七年制造业研究经验,历任天风证券(4.090, -0.18, -4.22%)研究所所长助理/高端制造总监/新能源与先进制造组副组长/机械军工首席分析师、安信证券研究员。
2022年获新财富国防军工第三名、上证报机械军工双第二名、水晶球军工第二名/机械公募第二名、金牛奖等:2019-2021年均率队上榜新财富最佳分析师等奖项。
赵 璐:毕业于大连理工大学、南洋理工大学3年机械、钢铁、煤炭行业研究经验,曾就职于财通证券(7.620, -0.15, -1.93%)、民生证券。
乐智华:上海财经大学数学与应用数学本科,复旦大学金融硕士,曾就职于东北证券(7.640, -0.12, -1.55%)。覆盖机器人(18.160, -1.47, -7.49%)及新能源设备等领域。
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一觉醒来,中国资产大涨,这是什么情况,是真的要东升西落了吗? deepseek的爆火,提振了外资对我们的信心。不管怎么样,节后大A开盘营造了极为有利的氛围。年前红包没拿到,希望年后给股民补回来吧。祝大家新春快乐! -
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趋势领涨2025-01-28 01:20:24
不过,英伟达一天下跌就定义科技股的行情就此结束,这也有点太武断了,美股最大的优点就是流动性强,每次大跌以后,最终都会创出新高,所有,科技股的行情随后几天还需要继续观察,如果A股在开市以前不能收回跌幅,科技股节后还有承压。今天已经开启了放假模式,本来不想写文章的,主要是看见昨天市场杀的有些蹊跷,收盘以后通过数据分析,大盘是不应该杀跌的,节日期间只要不出现意外的利空,只要外围股市不再大跌,A股节后是有望阳包阴的,所以,建议大家安心过春节!最后祝大家新的一年似灵蛇蜕皮,褪去旧疾,迎来股市长红,全家幸福安康! -
趋势领涨2025-01-28 01:20:14
昨天大盘走势确实让人费解,两市个股全线下跌,重点是还有近百只个股跌停,说好的节前红包,结果都给幻方发了红包,不过经过盘后数据分析,昨天应该是某种势力在故意砸盘,节后大盘有望阳包阴!现在重点是科技股,昨晚美股科技股也是全线大跌,英伟达盘中大跌近20%,收盘大跌约17%,费城半导体指数大跌超9%。英伟达大跌的主要原因就是DeepSeek实现了弯道超车,发布了多款开源多模态人工智能(AI)模型。有人不懂DeepSeek为什么能够这么牛逼,能够让世界震惊,这里我们举一个例子说明。一家豪华大酒店高薪聘请了很多海外顶尖厨师,并购置了一系列高端厨具,要打造一道惊艳世人的美食,经过精心烹制,这道美食终于问世。重点是这道美食是世界上独一无二的,他想卖给谁就卖给谁,想卖多少钱就卖多少钱,甚至是阉割版,价格也不下降。现在没有想到的是,一家小餐馆利用现有的锅碗瓢盆,也做出了同样的美味佳肴,而且价格只有豪华大酒店价格的1/30,现在这家小餐馆将方案公布于众,你想吃可以随时进来,没有各种各样的门槛限制,于是豪华大酒店就垮塌了!这个豪华大酒店就是英伟达,而那个不起眼的小餐馆就是幻方大模型!不过,这里我们想说的是,幻方如果能把精力都集中在大模型国际竞争上,而不是把心思用在股市收割上,不要跟韭菜争那三瓜两枣,那才是名族英雄,你们说呢? -
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今日共39股涨停,连板股总数8只,22股封板未遂,封板率为64%(不含ST股、退市股)。焦点股方面,机器人(sz300024)板块的高标冀东装备(sz000856)与冀凯股份(sz002691)双双上演“地天板”行情,但其余高位股大面积退潮,兴业科技(sz002674)、好想你(sz002582)、五洲新春(sh603667)、华联股份(sz000882)等人气股均跌停。 -
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1月27日收评:创业板指缩量跌2.73%,DeepSeek概念股逆势爆发1、市场全天走势分化,创业板指领跌。DeepSeek概念股集体爆发,每日互动(sz300766)、卓创资讯(sz301299)、每日互动(sz300766)、竞业达(sz003005)等多股涨停。AI智能体概念继续走强,新炬网络(sh605398)、垒知集团(sz002398)、美格智能(sz002881)、泛微网络(sh603039)等封板。下跌方面,算力硬件股持续走低,铜高速连接、CPO等方向领跌,华脉科技(sh603042)、新亚电子(sh605277)、瑞斯康达(sh603803)等跌停;机器人(sz300024)概念股下挫,宝塔实业(sz000595)、五洲新春(sh603667)等跌停。个股跌多涨少,沪深京三市超3300股飘绿,今日成交1.13万亿。截止收盘沪指跌0.06%,深成指跌1.33%,创业板指跌2.73%。2、板块概念方面,DeepSeek、AI智能体、银行、煤炭等板块涨幅居前,铜高速连接、机器人(sz300024)、CPO、液冷服务器等板块跌幅居前。3、两市共1783只个股上涨,45只个股涨停,3197只个股下跌,49只个股跌停,22只股票炸板,炸板率36%。 -
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4小时运行结束,总结全天市场运行,1)A股龙年收官日,三大指数集体收跌,沪指跌0.06%,深证成指跌1.33%,创业板指跌2.73%,三市成交额超1.1万亿,复制12月底走势,预期红盘跨年跟跨界,但实际走势出现较大偏差,尾盘出现小幅恐慌抛售,主要长假因素,节后预期延续结构型行情;2)量能,沪深两市今日成交额11276亿元,较上个交易日12337亿元减少1061亿元;3)行业板块方面,以加权涨幅来看56家行业35家红盘,家居用品、银行、电力等板块涨幅居前;通信设备、矿物制品、通用机械等板块跌幅居前;4)市场延续结构型行情,题材热点快速轮动。详细解盘,可关注《翠霞首席课》的“热点直击”和“操盘指南”~~~