北方华创、中微公司小伙伴半导体设备细分领域“小巨人”今日上市|北方华创_新浪财经

　　12月12日，先锋精科（688605.SH）在科创板上市，该公司是国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备细分领域关键零部件的精密制造商。

　　据介绍，先锋精科是国内半导体设备精密零部件行业有影响力的企业之一，是国家专精特新“小巨人”企业和国家高新技术企业，拥有江苏省晶圆刻蚀设备关键零部件智能车间和大规模集成电路高端装备精密零部件智能制造车间，同时也是江苏省气相沉积设备部件工程技术研究中心、江苏省基于5纳米芯片工艺刻蚀设备PM模块工程研究中心。

　　该公司自设立时起即与行业头部企业北方华创和中微公司开展密切合作，作为核心零部件的重要供应商协助客户诸多设备经历了研发、定型、量产和迭代至先进制程的完整历程。同时，公司还与拓荆科技、华海清科、中芯国际、屹唐股份等其他行业头部企业和终端晶圆制造企业建立了长期稳定的战略合作关系。

　　据先锋精科介绍，2023年度，公司已量产应用在刻蚀设备的关键工艺部件在中国境内同类产品的细分市场规模约为7.77亿元，细分市场占比超过15%。已量产应用在薄膜沉积设备的关键工艺部件在中国境内同类产品的细分市场规模约为11.20亿元，细分市场占比超过6%。

　　2021年至2024年3月，先锋精科精密零部件产品主要应用于半导体设备，各期相应主营业务收入占比均在 90%左右。

　　招股书显示，先锋精科的产品主要分为关键工艺部件、工艺部件和结构部件。其中，关键工艺部件包括内衬、加热器、匀气盘及腔体，系晶圆反应工作区的关键部件，构成腐蚀隔离、可控温、反应气体特定分布、真空环境等晶圆制造工艺的必备条件，其产品质量直接影响工艺良率。

　　工艺部件指与内衬、加热器、匀气盘及腔体共同构成反应工作区的零部件，通常起到密封、导流、运动等功能，其产品质量间接影响工艺良率；结构部件指位于反应工作区外、通常起到连接、支撑、传输等功能，种类繁多，不同产品差异较大。

　　值得注意的是，多家客户还参股了先锋精科。中微公司直接持有1.93%的股份、中芯国际通过中小企业发展基金间接持有0.91%的股份、北方华创通过北京集成电路基金间接持有股份（比例小于0.01%）。