英杰电气接受调研时表示,射频电源的研发过程还是比较长的,公司去年的出货量(测试样机)都很少,今年尤其是今年七月份以后就开始逐渐起量了,目前主要的两家客户都在起量,但批量供应的也只是其中部分机台的射频电源,其余机台的电源也在研发,目前研发推进情况良好,争取在明年实现机台的全面覆盖,并相继完成批量供应。除了两家主要客户以外,公司还在和多家企业接触,针对他们的设备需求进行电源研发、提供样机。不光是刻蚀机和pecvd设备的电源,还有清洗、去胶等工艺环节的设备电源,只是由于其他企业和公司接触的时间较晚,研发推进的进度相对此前的客户要慢一些。
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