英田光学：加快推动DUV光刻机实现国产化替代进程|光刻机_新浪财经

　　光刻机作为半导体制造过程中价值量和技术壁垒最高的设备之一，是芯片制造过程中不可缺少的一环，其技术水平直接决定芯片制造的精度和效率。在EUV(极紫外)光刻技术尚未完全成熟和普及的背景下，DUV(深紫外)光刻机依然是当前半导体制造领域的主流选择。我国DUV光刻机产业发展被“卡脖子”，难点主要在两处：一是光源技术，光刻机要求体积小、功率高而稳定的光源，它决定了光刻机能够实现的最小特征尺寸和分辨率；二是光学核心部件(包括光学系统设计、镜头、高精度光学镜片等)。为了让光线能够精确地照射到硅片上刻画出微小的图案，需要光学与机械、电子等多个领域的交叉融合。

　　英田光学作为以精密光学系统解决方案为核心竞争力的供应商，早在几年前就针对DUV光刻机的光学镜面的抗杂质能力、热稳定性、高透射率等特殊要求进行技术攻关，实现了高分辨率、高对比度的光刻成像；在光学镜头方面，公司使用了波长在200纳米到300纳米之间的紫外镜头，‌‌这些镜头对平整度要求极高，‌以确保尽可能完美地成像，‌将掩模版精确地复刻在芯片上。此外，镜头的分辨率、‌对比度、‌景深以及各种像差等成像质量的关键性指标对DUV光刻机的性能至关重要，公司技术团队在材料选择、‌制造精度严控工艺标准，利用先进的模组组装、‌加工而成，确保了光刻过程的精确性和高效性；为了实现精确的光刻，‌公司采用了自适应光学系统，‌该系统基于反馈控制理论，‌可以根据实时的测量数据和设定的目标值来调整光刻机的光学参数，确保DUV光刻机能够在纳米级别上实现高精度的图案转移，‌从而制造出高性能的微电子元件和集成电路。公司在核心部件的关键环节上取得重大突破，为光刻过程提供了可靠的技术保障，使DUV光刻机能够在特定领域发挥极其重要的应用价值。

　　‌国产DUV光刻机技术的不断突破，将推动我国芯片产业的跃进发展。通过实现更先进的工艺制程，我国芯片制造才能真正告别“卡脖子”，才能够生产更高性能、更低功耗的芯片产品，满足不断增长的市场需求，有助于提高我国在全球芯片市场的竞争力，推动我国经济由“制造大国”向“智造强国”的转变。公司将加大在半导体领域技术研发，通过技术创新和产业融合，加快推动DUV光刻机实现国产化替代进程，为我国半导体产业的健康快速发展贡献力量。