中微半导体设备（上海）股份有限公司2024年第一季度报告

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证券代码：688012 证券简称：中微公司

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示

公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息的真实、准确、完整。

第一季度财务报表是否经审计

□是 √否

一、主要财务数据

(一)主要会计数据和财务指标

单位：元 币种：人民币

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公司本期营业收入为16.05亿元，同比增长31.23%。公司的刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升。2024年第一季度刻蚀设备实现收入13.35亿元，较上年同期增长约64.05%，刻蚀设备占营业收入的比重由上年同期的66.55%提升至本期的83.20%。2024年一季度公司刻蚀设备产量显著提升，同时，本期末公司发出商品余额19.23亿元，较期初余额的8.68亿元增长10.55亿元，为后续的收入实现打下良好基础。公司的MOCVD设备已经在国内蓝绿光LED生产线上占据领先的市占率，受终端市场波动影响，本期MOCVD设备收入约0.38亿元，较上年同期1.67亿元减少1.29亿元，同比下降约77.28%。由于半导体下游客户的产能利用率波动影响，本期备品备件及服务收入约2.32亿元，较上年同期下降约4.38%。

本期归属于上市公司股东的净利润为2.49亿元，较上年同期下降约0.26亿元，同比减少约9.53%，主要系本期收入和毛利增长下扣除非经常性损益的净利润较上年同期增加0.35亿元，但本期非经常性损益为亏损0.14亿元，较上年同期的盈利0.48亿元减少约0.61亿元。非经常性损益的变动主要系：（1）由于2024年第一季度二级市场股价下跌，公司持有的以公允价值计量的股权投资本期公允价值减少约4,077万元，与上年同期的盈利22万元相比，减少约0.41亿元；（2）本期计入非经常性损益的政府补助收益为0.14亿元，较上年同期的0.37亿元减少约0.23亿元。

本期归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为2.63亿元，较上年同期增加0.35亿元，同比增长15.40%，主要系公司收入增长31.23%下毛利增加1.60亿元，同时本期研发费用增长0.83亿元，以及公司业务扩张、人员增长下销售费用和管理费用较上年同期分别增长0.39亿元和0.18亿元。基于客户旺盛的需求和对市场的信心，公司继续加大研发力度，积极推动多款新产品研发，研发材料投入增加以及研发人员增加下职工薪酬增长。本期公司研发投入3.60亿元，较上年同期的2.22亿元增加约1.39亿元，同比增长约62.43%。公司与国内外领先客户保持紧密合作，相关新产品研发及客户端验证进展顺利。

刻蚀设备研发方面，公司根据技术发展及客户需求，大力投入先进芯片制造技术中关键刻蚀设备的研发和验证，目前针对逻辑和存储芯片制造中最关键刻蚀工艺的多款设备已经在客户产线上展开验证。晶圆边缘Bevel刻蚀设备完成开发，即将进入客户验证，公司的TSV硅通孔刻蚀设备也越来越多地应用在先进封装和MEMS器件生产。

薄膜沉积设备研发方面，公司目前已有多款设备产品进入市场，其中部分设备已获得重复性订单，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进。公司钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储器件所有钨应用，并已完成多家逻辑和存储客户对CVD/HAR/ALD W钨设备的验证，取得了客户订单。公司近期已规划多款CVD和ALD设备，增加薄膜设备的覆盖率，进一步拓展市场。

MOCVD设备研发方面，用于碳化硅功率器件外延生产的设备已于本期付运到客户端开展验证测试；制造Micro-LED应用的新型MOCVD设备也已在客户端进行验证测试。

(二)非经常性损益项目和金额

√适用 □不适用

单位:元 币种:人民币

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对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号一一非经常性损益》未列举的项目认定为的非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号一一非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

□适用 √不适用

(三)主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因

√适用 □不适用

■

二、股东信息

(一)普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表

单位：股

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持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况

√适用 □不适用

单位:股

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前10名股东及前10名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

√适用 □不适用

单位:股

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三、其他提醒事项

需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息

□适用 √不适用

四、季度财务报表

(一)审计意见类型

□适用 √不适用

(二)财务报表

合并资产负债表

2024年3月31日

编制单位:中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元 币种:人民币 审计类型：未经审计

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公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

合并利润表

2024年1一3月

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元 币种:人民币 审计类型：未经审计

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本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元，上期被合并方实现的净利润为：0 元。

公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

合并现金流量表

2024年1一3月

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元 币种：人民币 审计类型：未经审计

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公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

2024年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表

□适用 √不适用

特此公告

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2024年4月25日

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