e公司讯,华懋科技今日在互动平台表示,公司参股公司徐州博康2022年以来得到下游客户的认可,有多款高端光刻胶产品分别获得了国内12寸晶圆厂的相关订单,包括ArF-immersion产品及ArF-dry,KrF,I-line等。其中,ArF-immersion产品已经适用于28-45nm制程。
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