三星将采用HBM4内存的混合键合

三星将采用HBM4内存的混合键合
2025年05月14日 09:10 电子产品世界

三星计划在其 HBM4 中采用混合键合技术,以减少热量并实现超宽内存接口,该公司在韩国首尔举行的 AI 半导体论坛上透露。相比之下,该公司的竞争对手 SK 海力士可能会推迟采用混合键合技术,EBN 报道。

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高带宽内存 (HBM) 将多个存储器件堆叠在基础芯片上。目前,HBM 堆栈中的内存芯片通常使用微凸块(在堆叠芯片之间传输数据、电源和控制信号)连接在一起,并使用模塑底部填充质量回流 (MR-MUF) 或使用非导电膜 (TC-NCF) 的热压缩等技术进行键合。

这些晶粒还使用嵌入在每个晶粒内的硅通孔 (TSV) 垂直互连(通过每个 DRAM 晶粒传输数据、时钟、控制信号、电源和接地)。然而,随着 HBM 的速度越来越快,DRAM 器件的数量越来越多,微凸块会变得效率低下,因为它们限制了性能和能效。

这就是混合粘合发挥作用的地方。混合键合是一种 3D 集成技术,通过键合铜到铜和氧化物到氧化物的表面来直接连接芯片,无需微凸块。混合键合支持低于 10 μm 的互连间距,与传统的基于凸块的堆叠相比,具有更低的电阻和电容、更高的密度、更好的热性能,以及更薄的 3D 堆栈。

但是,有一个问题。混合键合是一种相当昂贵的技术,虽然 HBM 存储器的三大领先制造商都考虑将其用于 12-Hi HBM3E,但美光和三星最终使用了 TC-NCF,而 SK 海力士则使用了 MR-MUF。对于 HBM4三星计划使用混合键合,而 SK 海力士正在开发先进的 MR-MUF 技术以及混合键合作为备用工艺。

SK海力士可能会使用传统的模制底部填充胶而不是混合粘接,这是有原因的。混合键合所需的专用设备比传统封装工具贵得多,并且需要更多的晶圆厂物理空间。

这会影响资本效率,尤其是在晶圆厂占地面积有限的情况下。因此,SK海力士正在谨慎行事。如果它发现其先进的 MR-MUF 技术提供了相同(或类似)的性能结果和良好的产量,那么它宁愿继续使用 MR-MUF 至少再一代。

三星内存
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