欧洲首个尖端半导体工厂在英国启用|欧洲|英国_新浪科技

据媒体报道，当地时间4月30日，欧洲首个尖端半导体工厂在英国南安普顿大学正式投入运营。该工厂配备了全球第二台、欧洲首台的新型电子束光刻设备，将利用先进的电子束技术制造下一代半导体。

电子束光刻（Electron Beam Lithography, EBL）是一种基于电子束直写或投影的纳米级图形加工技术，其核心特点在于突破光学衍射极限，能够实现亚10纳米级的超高精度加工。通过聚焦电子束，该技术可在材料表面刻画出比人类头发细数千倍的微小特征，分辨率远超传统光刻技术。此外，电子束光刻无需依赖掩膜即可直接进行图案化处理，特别适合研发、原型设计以及小批量生产。

这项技术在先进半导体制造中发挥着重要作用，尤其是在高精度图形加工领域。例如，它可用于制作光学掩模版、微纳加工器件，同时也广泛应用于科研与教育领域，助力高精度图形的制作与研究。

英国科学大臣Patrick Vallance表示，南安普顿大学的新电子束设施将显著提升该国在半导体领域的研发和制造能力，为技术创新提供强有力的支持。