南安普敦建全球第二座电子束光刻工厂

南安普敦建全球第二座电子束光刻工厂
2025年05月06日 11:22 中关村在线

英国南安普敦大学于4月30日宣布,将建立全球第二座电子束光刻工厂。这不仅是欧洲首个先进的半导体制造设施,也是日本以外地区设立的首座同类型工厂。

与目前主流采用激光进行图案化处理的技术不同,电子束光刻利用高能电子对光刻胶实施曝光,从而刻画出半导体电路结构。该技术具有出色的分辨率,且无需使用掩膜即可直接绘制图案。不过,由于其处理效率相对较低且控制复杂,在当前商业生产中,通常用于制作掩膜等辅助工艺,而非作为主要制造流程使用。

在当天的启用仪式上,英国科技部国务大臣Patrick Vallance表示,英国在半导体研究领域拥有多项令人瞩目的成果,新设立的南安普敦电子束实验室将进一步增强国家在该领域的实力。他强调,通过加大对基础设施和人才培养的投入,英国正在为科研人员和创新者打造一个支持下一代芯片开发的良好环境。

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