从追赶到引领,ITO靶材产业的破局之路

从追赶到引领,ITO靶材产业的破局之路
2025年01月24日 06:58 羊城晚报

  羊城晚报记者 李程 梁辉森 通讯员 梁晔

  从追赶到引领,短短数年,先导薄膜材料(广东)有限公司(以下简称“先导薄膜”)完成了一场令人瞩目的行业逆袭,在全球ITO靶材行业实现“遥遥领先”,补齐了国内行业技术和产能的短板。

  据了解,先导薄膜主要从事陶瓷靶材和金属靶材产品的研发、生产和销售,是先导科技集团下属子公司。该公司是国内首批进入磁存储靶材领域的供应商,也是国内率先交付G4.5代AMOLED高迁氧化物靶材、率先实现高世代液晶显示面板用ITO靶材量产的企业。当前,该公司ITO靶材全球市场占有率超三成,产能跃居全球第一,客户涵盖京东方、TCL华星光电、三星、LG等全球知名厂商。

  走好“突围路”,打破ITO靶材国外垄断

  ITO靶材是一种透明电极薄膜材料,具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性,常用于显示面板、触摸面板、太阳能(4.530, -0.04, -0.88%)电池等的制造,同时在智能建筑与汽车等领域也具有广泛应用。

  以前,国内ITO靶材只能依赖外国进口。2014年以来,国内企业开始涉及这一领域,但大多只能制备低端ITO靶材,能制备高端ITO靶材的企业较少,主要的市场份额依然由国外企业掌控。因此,打破国外ITO靶材制备技术垄断、实现高端ITO靶材的国产化、保证国内显示产业关键原材料的稳定供应,迫在眉睫。

  先导薄膜基地负责人胡智向介绍,开展ITO靶材研发后,公司两条腿走路,一方面通过外延式扩张,不断扩充实力;另一方面持续加大投入,形成以自主研发为引领的研发模式,使得公司技术水平和研发实力实现了连续高水平跃升。

  研发过程中,ITO靶材尺寸和致密度是两大关键难题。“公司积极与高校合作交流,引进技术人才,提升创新能力。”胡智向表示,公司还与设备厂商合作,设计和开发新型大尺寸高精度气氛烧结设备,通过大量实验和数据分析,找到工艺突破点。

  经过不懈努力,先导薄膜在ITO靶材技术研发上取得了众多独特的技术创新和专利成果。在纯度提升方面,采用化学沉淀和电化学提纯方法提高原料纯度;在制备高密度大尺寸靶材上,运用新型大型成型设备和先进的烧结技术。这些创新成果不仅提高了产品质量,更增强了核心竞争力。

  2020年5月,先导薄膜G4.5代线镧系稀土掺杂金属氧化物(Ln-IZO)靶材成功交付给华星光电,标志着在高迁移率氧化物靶材领域取得重大技术突破。

  走好“协同路”,取得多项先进成果

  “公司的发展离不开当地的支持。”胡智向介绍,清远市开展的先进制造业和高技术制造业企业扶优计划,推动公司向做强做优做大的方向发展。

  在清远市的支持下,先导薄膜建立了省市两级工程中心、企业技术中心、广东省高性能溅射靶材技术与应用企业重点实验室等平台,助力ITO靶材产品于2019年通过重点新材料首批次应用保险补偿试点项目,并于2023年入选广东省制造业单项冠军产品。当前,ITO靶材在该公司产品体系中占据核心地位,是核心技术产品。

  凭借卓越的产品品质,先导薄膜荣获中国有色金属工业协会科学技术奖一等奖、中国新型显示产业链发展特殊贡献奖等多项荣誉。

  在与广东省上下游企业的合作上,先导薄膜形成了良好的协同发展模式。一方面,与上游的材料公司合作,通过增加订单、提高采购量,推动其扩大生产规模、提升产品质量和技术水平。另一方面,与下游企业如TCL华星光电技术有限公司紧密合作。此外,先导薄膜还与上下游企业开展协同创新,联合高校、科研机构共同参与重点研发计划项目。

  2019年,先导薄膜与广州新视界光电科技有限公司、深圳市华星光电半导体显示技术有限公司、华南理工大学、广东省半导体产业技术研究院共同参与广东省重点研发计划项目——“薄膜晶体管用高迁移率氧化物半导体溅射靶材研究及应用”,获得了省级支持。经过项目团队的辛勤努力,该项目已成功验收,取得了薄膜晶体管用高迁移率氧化物半导体溅射靶材等先进成果。

  走好“提升路”,增强企业核心竞争力

  如今,先导薄膜已成为行业内的佼佼者,产品获得国内外客户和行业协会的高度认可。随着行业发展和技术进步,ITO靶材市场机遇与挑战并存。铟作为ITO靶材的核心原材料,资源稀缺且成本高,对大规模应用构成一定阻碍。如何提高ITO废料的回收和再利用技术以及无铟靶材等替代材料开发,成为行业关注的重点。

  对此,胡智向介绍,公司将加大研发投入,基于“原料提纯-粉体合成-精密靶材制备”的优势,开发更多满足客户需求的新产品。“目前公司正在开展新型显示及异质结太阳能用TCO靶材技术改造等新型显示及光伏产业等项目,推动新型显示、新一代太阳能电池等应用,齐心协力建设广东省新型显示及光伏产业集群。”胡智向说。

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